臭氧催化氧化技术可以解决臭氧氧化过程中臭氧利用效率低、矿化能力低以及污染物分解不彻底等问题。在常温常压下，臭氧通过催化剂的作用促进分解并产生羟基自由基（·OH），将一些难以用臭氧单独氧化或者臭氧氧化分解不彻底的有机物进行分解和矿化。OH的氧化过程具有无选择性、反应速率高等特点，与大多数有机物反应时速率常数通常为106~109 M-1s-1,比臭氧与有机物的反应速率常数高出7个数量级。臭氧催化氧化技术根据催化剂的不同形态可分为两类：一类是均相催化臭氧化作用，主要利用溶液中金属(离子)的催化作用；另一类是非均相催化臭氧化作用，主要利用固态金属、金属氧化物或负载在载体上的金属或金属氧化物的催化作用。均相催化臭氧氧化技术可以有效提高有机物的分解和矿化效率，但是金属离子回收难的问题限制了这一技术的推广
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